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热场系统

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【摘要】:

热场系统属于硅片拉晶过程中的耗材,是光伏晶硅制造的核心部件,对单晶硅、多晶硅的纯度、均匀性等品质具有关键性的影响,主要包含位于单晶炉内的坩埚、导流筒、保温筒、加热器等部件。

                                                         

坩埚的作用是承载内层的石英坩埚;导流筒的作用是阻止外部热量传导至内部,使硅棒生长的速率提升;保温筒的作用是阻止内部热量向外传导,构建热场空间;加热器的作用是提供硅料熔化的热源。

按产成品分类,热场系统有单晶拉制炉、多晶铸锭炉热场系统两种,按材料分类有等静压石墨与碳碳热场两种。

                                                             

为熔化硅料,需要周围温度达到1600℃以上,因此要求热场材料要有较好的耐热性能。同时,由于温度较高,各材料的寿命均有限,使热场产品需要定期更换。

碳碳热场是一种硅片拉棒耗材,其周围温度1600℃以上,在使用一段时间后就需要更换,行业趋势是逐步替代传统石墨热场。